記者從哈爾濱科友半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)裝備與技術(shù)研究院有限公司（以下簡稱科友半導(dǎo)體）獲悉，近日，由該公司牽頭完成的《大尺寸低成本碳化硅裝備研制及襯底產(chǎn)業(yè)化》項(xiàng)目榮獲2023年度黑龍江省科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)。

該項(xiàng)目聚焦第三代半導(dǎo)體碳化硅材料領(lǐng)域，在國家及省市各級(jí)項(xiàng)目支持下，研制獲得覆蓋碳化硅材料制備的全產(chǎn)業(yè)鏈系列裝備，突破了大尺寸低成本碳化硅襯底產(chǎn)業(yè)化關(guān)鍵技術(shù)，關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國內(nèi)領(lǐng)先、國際先進(jìn)水平，形成具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的成熟技術(shù)體系，打破了碳化硅材料高端裝備設(shè)計(jì)及關(guān)鍵工藝技術(shù)的國際壟斷與技術(shù)封鎖。項(xiàng)目累計(jì)獲取授權(quán)專利54項(xiàng)、論文收錄19篇、軟件著作權(quán)19 項(xiàng)，參與國家標(biāo)準(zhǔn)制定5項(xiàng)，國際行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)1項(xiàng)。通過項(xiàng)目核心科技成果的應(yīng)用轉(zhuǎn)化，帶動(dòng)省內(nèi)外產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)的共同發(fā)展，創(chuàng)造出顯著的經(jīng)濟(jì)效益與社會(huì)效益。

科友半導(dǎo)體依托于項(xiàng)目科技成果轉(zhuǎn)化，已發(fā)展成為一家擁有國際先進(jìn)、國內(nèi)領(lǐng)先的碳化硅晶體生長技術(shù)高新技術(shù)企業(yè), 并提供大尺寸低成本導(dǎo)電型碳化硅襯底生產(chǎn)、高端智能半導(dǎo)體裝備制造、一站式碳化硅長晶供應(yīng)鏈服務(wù)平臺(tái)，出品的襯底及裝備質(zhì)量與良率位于國內(nèi)領(lǐng)先水平。

據(jù)悉，碳化硅襯底作為第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上游的關(guān)鍵材料，成本占到整個(gè)環(huán)節(jié)的48%以上，下游客戶對(duì)襯底質(zhì)量要求高，且同時(shí)對(duì)襯底價(jià)格較為敏感。科友半導(dǎo)體具有碳化硅粉原料提純、碳化鉭（TaC）蒸鍍、籽晶鍍膜與壓接、熱場(chǎng)模擬仿真等多項(xiàng)獨(dú)家工藝。依托專有技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了設(shè)備穩(wěn)定產(chǎn)能高、制備的晶體良率高、周期短、質(zhì)量好、成本低等優(yōu)勢(shì)。實(shí)現(xiàn)了從長晶設(shè)備到高純石墨件的國產(chǎn)化，打破了高端設(shè)備的國際封鎖和“卡脖子”技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了關(guān)鍵技術(shù)的自主可控。此次獲獎(jiǎng)標(biāo)志著科友半導(dǎo)體在大尺寸碳化硅產(chǎn)業(yè)化方面再次取得新突破。

記者：薛婧